出售日本ULVAC(有乐)2024年生产的全新uGmni-200E干法刻蚀系统。该设备为通用型多工艺平台,支持刻蚀、去胶、CVD及溅射等多种模块配置,适用于GaAs、SiC等化合物半导体及MEMS器件制造。采用新型离子源技术,具备大排气量腔体构造,性能卓越。整机成色极佳,现货供应,适合高端半导体产线升级或新建项目使用。